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本发明实施例公开了一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，包括以下步骤：S1、对管道的内壁进行表面处理，然后进行清洗，再将管道进行抽真空；S2、通入Ar气体，对管道内壁进行Ar离子刻蚀清洗；S3、将管内腔压再次...
该专利属于广东华升纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东华升纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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