一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，包括以下步骤：S1、对管道的内壁进行表面处理，然后进行清洗，再将管道进行抽真空；S2、通入Ar气体，对管道内壁进行Ar离子刻蚀清洗；S3、将管内腔压再次抽真空，通入反应气体，随后在管道内施加负偏压，偏压控制在100‑1000V范围内，占空比控制在1‑95％范围内，频率控制在1‑100kHz范围内，利用空心阴极放电来启辉产生等离子体，进而在管道的内壁镀制类金刚石涂层。本发明专利技术在真空镀膜过程中使用中频电源，无需使用高功率脉冲磁控溅射电源或射频电源等高价值电源配件，极大的减少了管道内壁镀膜对硬件的要求，极大地减少了操作人员的操作难度和维护成本，有利提升生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及管内镀膜技术，尤其涉及一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法。

技术介绍

1、在实际的生产过程中，管道的使用非常广泛。例如，石油天然气的运输绝大部分需要使用到管道运输；化学试剂、气体的运输绝大部分也是依靠管道；我们日常生活的饮用水、生活污水等都需要用到管道运输。管道作为工件或者作为输送工具均起到了至关重要的作用。但是，由于所输送的液体或者气体的腐蚀、冲刷等作用，会造成管道的腐蚀、破损、疲劳，进而会导致严重的经济损失和人员伤亡。所以，在管道内壁涂覆一种抗腐蚀、抗磨损的涂层是非常有必要的。

2、类金刚石(diamond like carbon,dlc)膜是一种在微观结构上同时含有sp3键和sp2键的非晶碳膜。由于碳原子之间不同的结合方式，从而会产生出不同的物质，比如：石墨是碳以sp2键的形式结合形成正六边形层状结构，进而堆叠而成；金刚石是碳以sp3键的形式结合形成正四面体结构；dlc类金刚石是碳以sp3和sp2键的形式混合结合形成。其涂层结构是由碳的sp3和sp2键杂化混合而成的无定型组织，形成的膜层结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤S1中，对管道的内壁的表面处理为喷砂处理。

3.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤S1中，将管道先后浸入到酒精和纯水中进行超声清洗。

4.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤S1及所述步骤S3中，所述第一...

【技术特征摘要】

1.一种利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤s1中，对管道的内壁的表面处理为喷砂处理。

3.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤s1中，将管道先后浸入到酒精和纯水中进行超声清洗。

4.根据权利要求1所述的利用中频电源在管道内壁制备抗腐蚀、抗磨损的致密类金刚石涂层的方法，其特征在于，所述步骤s1及所述步骤s3中，所述第一预设范围为1x10-3—20x10-3pa。

【专利技术属性】
技术研发人员：郭朝乾，林梦禹，李立升，
申请(专利权)人：广东华升纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：