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本申请提供一种MEMS压电谐振器的频率调整方法，包括：静电谐振器包括第一基底层、第一频率调整层及第一器件层；测试静电谐振器的实际频率，确定实际频率与静电谐振器的目标频率不同；对第一频率调整层进行第一激光烧蚀直至实际频率与目标频率相同；根据第...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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