一种MEMS压电谐振器的频率调整方法技术

本申请提供一种MEMS压电谐振器的频率调整方法，包括：静电谐振器包括第一基底层、第一频率调整层及第一器件层；测试静电谐振器的实际频率，确定实际频率与静电谐振器的目标频率不同；对第一频率调整层进行第一激光烧蚀直至实际频率与目标频率相同；根据第一激光烧蚀的调频工艺参数与调整的实际频率之间的关系建立目标模型；MEMS压电谐振器包括依次层叠设置且分别与第一基底层、第一频率调整层及第一器件层相同的第二基底层、第二频率调整层及第二器件层，其振动模态与静电谐振器的振动模态相同；根据目标模型，对第二频率调整层进行第二激光烧蚀来调整MEMS压电谐振器的频率，MEMS压电谐振器输出目标频率，以提高频率调整的效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及微机电，具体涉及一种mems压电谐振器的频率调整方法。

技术介绍

1、微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)是一种基于微电子技术和微加工技术的一种高科技领域。mems技术可将机械构件、驱动部件、电控系统、数字处理系统等集成为一个整体的微型单元。mems器件具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等诸多优点。mems技术的发展开辟了一个全新的
和产业，利用mems技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事、物联网等领域中都有着十分广阔的应用前景。

2、对于mems压电谐振器，若在晶片的两个极板间加一电场，会使晶体产生机械变形；反之，若在极板间施加机械力，又会在相应的方向上产生电场，这种现象称为压电效应。如在极板间所加的是交变电压，就会产生机械变形振动，同时机械变形振动又会产生交变电压。一般来说，这种机械振动的振幅是比较小的，其振动频率则是很稳定的。但当外加交变电压的频率与晶片的固有频率本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述第一频率调整层设置于所述第一器件层与所述第一基底层之间；

3.根据权利要求1所述的MEMS压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述第一器件层设置于所述第一频率调整层与所述第一基底层之间；

4.根据权利要求1所述的MEMS压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述对至少部分所述第一频率调整层进行第一激光烧蚀处理来调整所述实际频率，直至调整的所述实际频率与所述目标频率相同中，包括：

5.根据权利要求4所述的M...

【技术特征摘要】

1.一种mems压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述第一频率调整层设置于所述第一器件层与所述第一基底层之间；

3.根据权利要求1所述的mems压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述第一器件层设置于所述第一频率调整层与所述第一基底层之间；

4.根据权利要求1所述的mems压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述对至少部分所述第一频率调整层进行第一激光烧蚀处理来调整所述实际频率，直至调整的所述实际频率与所述目标频率相同中，包括：

5.根据权利要求4所述的mems压电谐振器的频率调整方法，其特征在于，所述通过第一激...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱怀远，舒赟翌，林友玲，焦点，朱雁青，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：