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本技术公开了一种用于晶圆片边缘的打磨装置，侧面打磨机构包括打磨头，打磨头上设有打磨槽，打磨头通过移动板安装在水平移动机构上移动并通过第一电机驱动转动；夹持旋转机构包括下夹持头，下夹持头通过第二电机驱动转动，下夹持头的上方同轴设有一上夹持头，...
该专利属于浙江吉进科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江吉进科技有限公司授权不得商用。

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