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本申请提供一种气体吸收系统，用于气柜内出现能够与气体捕消剂反应的气体泄漏时的吸收，气柜上设有进气口和出气口，包括：监测装置，监测装置设置在气柜内；第一三通，第一三通的第一端通过第一管路与出气口连通；第二三通，第二三通的第一端通过第二管路与第...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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