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本申请提供一种卡爪结构及晶圆翻转装置。卡爪结构包括卡爪本体和卡接部，卡接部包括一体化连接的第一部和第二部，第一部的第一面与卡爪本体一体化连接，第一部还包括平行于第一面的第二面，第二部从第二面的一侧向垂直于第二面方向延伸，延伸的始端至末端与第...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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