专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
华南理工大学
>
一种力学性能优良的类玫瑰金复合膜的制备方法与应用技术
>技术资料下载
下载一种力学性能优良的类玫瑰金复合膜的制备方法与应用的技术资料
文档序号:42434961
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明属于真空镀膜技术领域,公开一种类玫瑰金复合膜及其制备方法与应用。本发明利用中频磁控溅射技术在基底上沉积打底层;然后利用高功率脉冲磁控溅射技术与中频磁控溅射技术复合的复合磁控溅射技术在打底层上依次沉积过渡层、表面层,得到TiN/TiCN...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。