下载一种力学性能优良的类玫瑰金复合膜的制备方法与应用的技术资料

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本发明属于真空镀膜技术领域,公开一种类玫瑰金复合膜及其制备方法与应用。本发明利用中频磁控溅射技术在基底上沉积打底层;然后利用高功率脉冲磁控溅射技术与中频磁控溅射技术复合的复合磁控溅射技术在打底层上依次沉积过渡层、表面层,得到TiN/TiCN...
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