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本发明公开一种清洗装置和清洗方法，用于清洗基板，基板包括主体部和环绕主体部设置的边缘部，清洗装置包括壳体、驱动组件以及清洗组件，壳体内设有清洗腔；驱动组件包括承载台、驱动件以及多个夹持件，承载台设于清洗腔内，多个夹持件转动设于承载台，并配合...
该专利属于深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司授权不得商用。

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