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本发明公开了一种用于离子注入机的一价离子过滤装置及离子注入机，过滤装置包括真空腔体，所述真空腔体上设有束流入口，所述束流入口与离子注入机中质量分析器的出口对接，所述真空腔体内部设有膜片透镜组件，所述膜片透镜组件包括过滤电极组件，用于抑制束流...
该专利属于北京烁科中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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