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本申请属于半导体加工技术领域,公开了半导体取放装置、调平方法及半导体搬运设备,半导体取放装置包括提供半导体取放装置,包括夹持座组件、拾取组件和调节组件,夹持座组件的一端可拆卸连接于拾取组件,拾取组件用于拾取晶圆,调节组件设置于夹持座组件上,...该专利属于浙江求是创芯半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江求是创芯半导体设备有限公司授权不得商用。
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