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一种电接触式晶圆级LED芯片检测方法、设备及存储介质技术
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文档序号:42399216
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本发明公开了一种电接触式晶圆级LED芯片检测方法、设备及存储介质;方法包括以下步骤:将至少一个待检测的LED芯片固定于晶圆衬底的一侧;在待检测的LED芯片中选定目标LED芯片;将上、下柔性电极板分别布置于晶圆衬底的两侧,且目标LED芯片位于...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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