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本发明提供一种靶材组件的丝套安装方法，包括先后进行的钻孔和丝套安装；所述钻孔的深度贯穿于靶材组件的背板，并延伸至靶材组件的靶材内部；所述丝套安装的位置处于靶材内部，且采用的丝套为盲孔型自攻丝套；所述盲孔型自攻丝套包括丝套本体，所述丝套本体沿...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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