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电子设备及制造电子设备的方法技术
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文档序号:42385672
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一种用于制造包括半导体存储器的电子设备的方法可以包括:形成第一碳电极材料;对第一碳电极材料进行表面处理以减小第一碳电极材料的表面粗糙度;以及在处理后的第一碳电极材料的表面上形成第二碳电极材料。第二碳电极材料的厚度可以大于第一碳电极材料的厚度...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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