温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本说明书实施例提供了一种提取铁电场效应管栅介质层缺陷信息的测试方法及装置，其中，方法包括：进行脉冲测试前铁电场效应管的预极化方向的设置，并设置脉冲测试参数；进行脉冲测试，并得到PV值，在施加脉冲下降沿结束后测量得到其原漏电流，基于所述原漏电...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。