温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种气体调节装置包含基板区块，其包含位于基板区块的上表面上的一或多个流体端口。基板区块沿着侧壁具有第一长度。基板区块包含位于第一端的入口端口以及位于第二端的出口端口。流动通道在入口端口以及出口端口之间的基板区块内延伸，且与一或多个流体端口流...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。