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体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置制造方法及图纸
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文档序号:42378879
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一种体声波谐振装置及其形成方法、滤波装置,其中谐振装置包括:声反射层;第一电极层,包括第一谐振部、第一衰减部和第一限制部;压电层,包括第一侧和第二侧,第一电极层位于第一侧;第二电极层,位于第二侧,包括第二谐振部;第一介质层,位于第一侧;第一...
该专利属于常州承芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州承芯半导体有限公司授权不得商用。
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