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本发明提供了一种温度补偿型体声波滤波器及其制备方法，涉及体声波滤波器设计技术领域。包括依次层叠的第一衬底、底电极、压电层和顶电极，压电层由单晶态氮化铝材料或多晶态氮化铝材料制成，还包括温补层，温补层位于压电层内且被压电层完全密封；温补层用于...
该专利属于广州市艾佛光通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市艾佛光通科技有限公司授权不得商用。

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