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一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置及方法制造方法及图纸
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下载一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置及方法的技术资料
文档序号:42370251
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本发明提供了一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置及方法,相移干涉仪安装在大理石基座中心;由检测工装和四维电控调整架组成的测量平台安装在与大理石基座相连的升降装置上,被测件在共焦和猫眼的位置通过四维电控调整架和气浮导轨调整;激光测距仪...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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