【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学检测领域，具体涉及一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置及方法。
技术介绍
1、随着球面光学元件广泛应用在光学计量、光学通信和医疗设备等领域。球面光学元件的曲率半径是决定成像性能的关键参数之一，影响整个系统的成像质量，对球面光学元件的曲率半径进行高精度检测显得尤为重要。
2、目前球面曲率半径测量的方法主要有样板法、球径仪法、三坐标测量法和干涉法，其中干涉测量法测量原理简单、结果可溯源，精度高，是目前应用最广泛的高精度球面曲率半径测量方法之一。在专利一种用于非球面计算全息检测的计算机辅助调整装置及方法（公开号为114252023 b），通过分析采集的面形信息得到待测非球面所需调整量准确调整检测光路；在专利一种光学球面曲率半径的检测方法（公开号为cn 102168955 b），通过观察干涉条纹调整靶标球和球面镜与干涉仪的相对位置，并采用激光跟踪仪测量靶标球的曲率中心坐标和待测球面镜上多点的位置坐标，得到待测球面镜的曲率半径；在专利一种曲率半径测量方法及系统（公开号为cn 115790453 a），通过相位...
【技术保护点】
1.一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置，其特征在于，所述装置包括大理石基座(1)、相位干涉仪(2)、激光测距仪(3)、气浮导轨(4)、四维电控调整架(5)、检测工装(6)、被测镜(7)、参考镜(8)、计算机系统(9)；其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置用于实现自动测量球面曲率半径。
3.一种采用权利要求1-2任一项所述的装置的基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，通过建立失调量和像差之间的关系，并根据拟合波像差与失调引入波像差的...
【技术特征摘要】
1.一种基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量装置，其特征在于，所述装置包括大理石基座(1)、相位干涉仪(2)、激光测距仪(3)、气浮导轨(4)、四维电控调整架(5)、检测工装(6)、被测镜(7)、参考镜(8)、计算机系统(9)；其中：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置用于实现自动测量球面曲率半径。
3.一种采用权利要求1-2任一项所述的装置的基于计算机辅助装调的球面曲率半径测量方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯溪，伍永琴，张帅，胡小川，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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