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本发明涉及一种基于LED发光的装备表面微翘曲测量装备及方法，属于测量技术领域。本发明的测量装备通过将c面AlGaN基LED芯片与待测装备表面严密贴合，利用AlGaN基材料具有较强极化特性的特点，装备表面翘曲将会为c面AlGaN基LED芯片提...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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