一种基于LED发光的装备表面微翘曲测量装备及方法技术

本发明专利技术涉及一种基于LED发光的装备表面微翘曲测量装备及方法，属于测量技术领域。本发明专利技术的测量装备通过将c面AlGaN基LED芯片与待测装备表面严密贴合，利用AlGaN基材料具有较强极化特性的特点，装备表面翘曲将会为c面AlGaN基LED芯片提供翘曲，改变其受力状态，使其发光波长发生偏移。只需探测待测装备表面c面AlGaN基LED芯片发光波长偏移量，即可得到待测装备表面翘曲数值，进一步计算待测装备表面受力状态。相比于传统的翘曲(受力)探测方法，该方法可以应用于装备高速运行过程当中，为相关装备运行过程中的受力数据反馈提供新的监测方法，该方法可以测量微小翘曲度，并且装备体积小、易操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于测量，具体涉及一种基于led发光的装备表面微翘曲测量装备及方法。

技术介绍

1、随着电子行业的高速发展，对芯片、电路板、器件等质量要求升高。对于一些超精密仪器来说，微小翘曲度会对仪器性能产生偏差，测量翘曲度能够提前判断产品对后续工艺或使用中的影响；对于稳定性要求较高的装备，在使用过程中，收集其表面翘曲数据，有助于实现装备使用过程中的受力分析，如飞机飞行、火箭升空初期、led发光装备使用等过程中的表面实时翘曲(受力)状态，可以收集相关翘曲(受力)数据，并有针对性的完善装备设计。因此，微小翘曲度的测量是十分有必要的。

2、目前翘曲度测量方法有很多，例如，将样品放在模具上，分别测量各点与地面的高度，然后将数据输入电脑模拟出立体图案，确定各点翘曲情况，但它要求地面必须完全平整，无法在装备运行过程中进行测试。定点拉线法，即在样品的对角线上两两连线，通过测量两条连线之间的距离来衡量翘曲，该方法连线往往是细而软的棉线或者塑料线，在测量距离时存在误差，并且只能测量较大样品，也无法在装备运行过程中进行测试。图像测量仪通过自动光学聚焦扫描测量翘曲，虽本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于LED发光的装备表面微翘曲测量装备，其特征在于，包括：c面AlGaN基LED、光探头、光纤导线和光谱分析装置；

2.根据权利要求1所述的测量装备，其特征在于，所述c面AlGaN基LED是由具有自发极化和压电极化特点的三族氮化物半导体材料制成。

3.根据权利要求1所述的测量装备，其特征在于，所述测量装备通过采集待测装备表面的c面AlGaN基LED的实际发光波长，根据实验室得到的c面AlGaN基LED的发光波长与翘曲程度关系表，即可得到待测装备表面的翘曲程度，再通过测试待测装备材料的应力系数计算得到待测装备的受力状态。

4.根据权利要求1-3任...

【技术特征摘要】

1.一种基于led发光的装备表面微翘曲测量装备，其特征在于，包括：c面algan基led、光探头、光纤导线和光谱分析装置；

2.根据权利要求1所述的测量装备，其特征在于，所述c面algan基led是由具有自发极化和压电极化特点的三族氮化物半导体材料制成。

3.根据权利要求1所述的测量装备，其特征在于，所述测量装备通过采集待测装备表面的c面algan基led的实际发光波长，根据实验室得到的c面algan基led的发光波长与翘曲程度关系表，即可得到待测装备表面的翘曲程度，再通过测试待测装备材料的应力系数计算得到待测装备的受力状态。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的测量装备，其特征在于，所述光谱分析装置为光谱分析仪或分...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎大兵，蒋丽，贲建伟，孙晓娟，蒋科，张山丽，吕顺鹏，刘明睿，石芝铭，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：