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半导体存储器件制造技术
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文档序号:42304321
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一种半导体存储器件,可以包括:衬底;下导线,在衬底上;隔离绝缘层,在下导线上,并且包括沟道沟槽;沟道结构,在沟道沟槽内,并且包括第一氧化物半导体材料;界面导电图案,在沟道结构的下表面与下导线之间;栅介电层,覆盖沟道沟槽内的沟道结构;上导线,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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