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本发明公开一种晶圆沟槽腐蚀用上下料装置，涉及晶圆沟槽腐蚀工艺相关配件技术领域，包括上下料单元、干燥单元、暂存单元。上下料单元包括一对齿轮，齿轮同轴固定地穿设有圆杆，圆杆外周侧还套设有分别位于齿轮两端的转板，同一圆杆下的两转板下端之间设有承载...
该专利属于四川上特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川上特科技有限公司授权不得商用。

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