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半导体装置制造方法及图纸
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下载半导体装置的技术资料
文档序号:42295593
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提供了一种半导体装置。所述半导体装置包括:有源图案,设置在基底上;栅极结构,设置在有源图案上;沟道,设置在基底上并且在基本垂直于基底的上表面的竖直方向上彼此间隔开;第一外延层,设置在有源图案的与栅极结构相邻的部分上;以及接触插塞,设置在第一...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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