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提供了一种用于将基板引入处理室的系统和方法。半导体或平板显示器的制造设备的台面上是否存在基板可以通过用于加载和卸载基板抬升销来确定，从而可以防止引入另一基板，并且基板的破裂状态或错误加载状态可以被检测。闸门阀的开闭也可以被确定，并且可以在闸...
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