下载电阻式随机存取存储器结构及其制作方法的技术资料

文档序号:4226421

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本发明公开了一种电阻式随机存取存储器结构及其制作方法。在该制作方法中,首先,形成下电极,接着,在下电极上,形成电阻层,然后,在电阻层上,形成上电极,其中上电极选自下列群组:氧化铟锡以及氧化铟锌,最后,以紫外线照射上电极。...
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