下载晶体管结构、动态随机存取存储器结构及其制造方法的技术资料

文档序号:4225784

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本发明揭示一种晶体管结构、动态随机存取存储器结构及其制造方法。该动态随机存取存储器结构,其有源区域为环形柱体状,具有新颖的垂直式晶体管结构,其栅极填充于环形柱体的中空内部,上下源/漏极分别位于环形柱体的上下部。其埋入式位线位于晶体管结构下方...
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