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一种光学组件，所述光学组件包括用于激光操作的光源(10)的灯泡(12)和透镜(20)。灯泡包括室，该室用于容纳可电离气体和通过激励可电离气体而形成的等离子体。在使用中，透镜被布置为将来自激光器(14)的辐射(16)的波前聚焦到位于室内部的虚...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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