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本揭露内容的实施方式涉及数字光刻系统及其部件。数字光刻系统可包括用于曝光单元的旋转组件，旋转组件包括：运动学插座，被配置为支撑曝光单元，运动学插座具有插座座部和接收在插座座部中的球体，其中插座座部被配置为在平移运动期间支撑曝光单元的负载且球...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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