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本发明提供了一种铝钛合金靶材及其制备方法,所述制备方法包括以下步骤:(1)混合铝粉与钛粉,得到混合粉:(2)将步骤(1)所得混合粉依次进行压实和真空热压烧结,得到所述铝钛合金靶材:所述真空热压烧结包括依次进行的第一加压处理、第一升温处理、第...该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。
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