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公开了用于生成样品图和处理样品的方法。在一种布置中，方法包括测量样品上多个场区域中每个场区域中的第一标记的位置。将第一模型拟合到第一标记的测量位置。拟合的第一模型表示场区域的位置。该方法包括测量一个场区域或多个场区域中的每个场区域中的多个第...
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