下载波前测量装置和波前测量方法的技术资料

文档序号:42186411

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本发明的波前测量装置(1)具备:相位调制部(2),其具有入射有入射光(L0)的空间光调制器(7);图案生成部(3),其生成输入空间光调制器(7)的相位图案(11);拍摄部(4),其具有将由空间光调制器(7)调制的入射光(L0)的一部分作为测...
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