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检查装置及检查方法制造方法及图纸
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下载检查装置及检查方法的技术资料
文档序号:42183826
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检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置,具备:激发光源,其产生照射至样品的激发光;相机,其对来自发光元件的荧光中较基准波长更长的波长的荧光进行摄像;及控制装置,其基于由相机所摄像的荧光判定发光元件的好坏;且基准波长是发光元件...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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