检查装置及检查方法制造方法及图纸

检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；相机，其对来自发光元件的荧光中较基准波长更长的波长的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所摄像的荧光判定发光元件的好坏；且基准波长是发光元件的正常荧光光谱的峰波长加上正常荧光光谱的半峰全宽所得的波长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的一方式涉及一种检查装置及检查方法。

技术介绍

1、作为对晶圆上所形成的发光元件组的良好·不良进行判定的方法，已知有一种对发光元件所发出的光致发光进行观察，基于该光致发光的亮度进行发光元件的好坏判定的方法(例如参照专利文献1)。

2、在专利文献1所记载的检查方法中，将来自发光元件的荧光进行分割，在多个相机中分别摄像彼此不同的波长的荧光，基于各个观察亮度值的比率算出自观察对象部位所发出的光的推定波长。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2015-10834号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的问题

2、此处，专利文献1所记载的检查方法仅着眼于正常发光光谱的荧光。然而，一部分发光元件有在较正常发光光谱更长波长侧产生发光斑点的情况。在如上所述的检查方法中，存在如下情况：考虑到这样的长波长侧的荧光而无法进行发光元件的好坏判定，从而无法高精度地进行发光元件的好坏判定。

3、本专利技术的一方式鉴于上述实际情况而完本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种检查装置，其中，

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其中，

4.如权利要求3所述的检查装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，

6.如权利要求1～5中任一项所述的检查装置，其中，

7.一种检查方法，其中，

8.如权利要求7所述的检查方法，其中，

9.如权利要求7或8所述的检查方法，其中，

10.如权利要求9所述的检查方法，其中，

11.如权利要求7～10中任一项所述的检查方法，其中，

【技术特征摘要】

1.一种检查装置，其中，

2.如权利要求1所述的检查装置，其中，

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其中，

4.如权利要求3所述的检查装置，其中，

5.如权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，

6.如权利要求1～5中任一项...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村共则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：