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半导体器件制造技术
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文档序号:42182322
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一种半导体器件可以包括:衬底,该衬底包括有源图案;源极/漏极图案,该源极/漏极图案位于有源图案上;有源接触,该有源接触位于源极/漏极图案上;下电力线路,该下电力线路位于衬底中;下接触,该下接触将有源接触垂直地连接到下电力线路;导电层,该导电...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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