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本发明公开了一种硅片清洗液，主要由乙醇和氢氟酸经混合配成，所述乙醇与氢氟酸的体积比为３５～４５∶１，所述乙醇的质量百分比浓度为１８％～１００％，所述氢氟酸由氟化氢和去离子水配成，其质量百分比浓度为４８％～５０％。本发明还公开了一种清洗硅片的...
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