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本技术涉及靶材加工技术领域，尤其为一种靶材超声振动清洗装置，包括机架，所述机架顶部一侧设置有操作台，所述机架内部设置有便于使用组件；所述便于使用组件包括设置于机架内部底端中部的超声波发生器，所述机架内部顶部设置有清洗箱，所述清洗箱下端设置有...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。

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