一种靶材超声振动清洗装置制造方法及图纸

本技术涉及靶材加工技术领域，尤其为一种靶材超声振动清洗装置，包括机架，所述机架顶部一侧设置有操作台，所述机架内部设置有便于使用组件；所述便于使用组件包括设置于机架内部底端中部的超声波发生器，所述机架内部顶部设置有清洗箱，所述清洗箱下端设置有超声波换能器，所述机架顶部两侧均设置有滑槽箱，本技术中，通过设计一种靶材超声振动清洗装置，利用伸缩缸伸缩带动一端滑块移动从而带动清洗槽进行上下移动到清洗箱内部，便于靶材放入到清洗箱内部超声清洗，通过清洗槽上移到机架顶端外部，通过气缸伸缩带动一端的支撑板下移，通过风机与电热管使靶材进行烘干，操作简单，更加便于使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及靶材加工，特别涉及一种靶材超声振动清洗装置。

技术介绍

1、金属合金靶材在加工过程中为保证靶材的质量通常需要进行相应清洗处理，靶材的清洗直接决定了靶材表面的洁净度，目前一般的靶材清洗是通过人工进行清洗，人工清洗靶材会导致清洗不干净且留有水印，现有的人工清洗靶材产生了清洗效率低下和无法及时烘干靶材的问题。

2、在公开号为cn208991371u的专利中提出了一种高效的靶材加工用清洗装置，在该专利中包括壳体、清洗腔室、盖板、烘干腔室、开启门、放置装置、固定板、档条、卡槽、脚柱、浸没清洗器、超声防水探头、强化空心球、连接板、排液管、隔板、烘干板、加温区、导管，清洗腔室的内壁侧壁固定连接有浸没清洗器，浸没清洗器包括超声防水探头和连接板，超声防水探头的右侧固定连接有强化空心球，超声防水探头和连接板通过强化空心球相互连接，清洗腔室内注入清洗液后，超声防水探头进行超声波清洗靶材，经强化空心球强化的声波在清洗液中能够更加迅速高效的清洗靶材，通过在清洗液中的浸没清洗器，提高了靶材在加工过程中的清洗效率，节约了人力，但是在该专利中还存在以下问题：

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【技术保护点】

1.一种靶材超声振动清洗装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）顶部一侧设置有操作台（2），所述机架（1）内部设置有便于使用组件（3）；

2.根据权利要求1所述的一种靶材超声振动清洗装置，其特征在于：所述操作台（2）与机架（1）之间不可拆卸连接，所述超声波发生器（303）与机架（1）之间可拆卸安装。

3.根据权利要求2所述的一种靶材超声振动清洗装置，其特征在于：所述超声波换能器（302）与清洗箱（301）之间不可拆卸连接，所述清洗箱（301）与机架（1）之间不可拆卸连接，所述滑槽箱（304）与机架（1）之间不可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述...

【技术特征摘要】

1.一种靶材超声振动清洗装置，包括机架（1），其特征在于：所述机架（1）顶部一侧设置有操作台（2），所述机架（1）内部设置有便于使用组件（3）；

2.根据权利要求1所述的一种靶材超声振动清洗装置，其特征在于：所述操作台（2）与机架（1）之间不可拆卸连接，所述超声波发生器（303）与机架（1）之间可拆卸安装。

3.根据权利要求2所述的一种靶材超声振动清洗装置，其特征在于：所述超声波换能器（302）与清洗箱（301）之间不可拆卸连接，所述清洗箱（301）与机架（1）之间不可拆卸连接，所述滑槽箱（304）与机架（1）之间不可拆卸连接。

4.根据权利要求3所述的一种靶材超声振动清洗装置，其特征在于：所述伸缩缸（305）与连接块（306）之间不可拆卸...

【专利技术属性】
技术研发人员：李心然，王永超，赵泽良，王伟涛，卢俊男，王留土，冯越，段于奇，王永康，李洋洋，杨志刚，陈渊博，张亚萌，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：