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下载薄膜晶体管的技术资料

文档序号:4216569

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本发明涉及一种薄膜晶体管,其包括:一源极;一漏极,该漏极与该源极间隔设置;一半导体层,该半导体层与该源极和漏极电连接;以及一栅极,该栅极通过一绝缘层与该半导体层、源极及漏极及绝缘设置;其中,所述半导体层包括一碳纳米管薄膜,该碳纳米管薄膜包含...
该专利属于清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司授权不得商用。

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