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多光束半导体激光器制造技术
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下载多光束半导体激光器的技术资料
文档序号:42159095
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本技术涉及半导体激光器领域,尤其涉及一种多光束半导体激光器,包括从下至上的N面金属电极、衬底、外延层、电绝缘层和P面金属电极;在外延层的表面向下刻蚀形成模式过滤结构,模式过滤结构的位置对应于特定阶数侧向模式的波峰处,以抑制特定阶数侧向模式激...
该专利属于吉光半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吉光半导体科技有限公司授权不得商用。
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