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本申请提供一种半导体设备及其安装装置，安装装置用于安装液位传感器于储液容器，包括装置主体，第一固定件以及第二固定件，其中，装置主体用于安装液位传感器，第一固定件用于与储液容器固定连接，第一固定件设有第一搭接部，装置主体设有第二搭接部，第二搭...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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