半导体设备及其安装装置制造方法及图纸

本申请提供一种半导体设备及其安装装置，安装装置用于安装液位传感器于储液容器，包括装置主体，第一固定件以及第二固定件，其中，装置主体用于安装液位传感器，第一固定件用于与储液容器固定连接，第一固定件设有第一搭接部，装置主体设有第二搭接部，第二搭接部能够与第一搭接部搭接配合，以将装置主体与第一固定件相连，第二固定件配合第一固定件固定装置主体。第一固定件、装置主体以及第二固定件依次安装，第一固定件安装过程不会受到装置主体的干扰，方便在狭小的空间内进行操作，降低了安装难度。装置主体安装时仅需通过搭接与第一固定件相连，安装过程的难度降低，整个安装过程可由一人操作完成，提高了安装效率，降低了人力成本。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种半导体设备及其安装装置。

技术介绍

1、清洗机进行工艺时，储液罐作为清洗药液暂存功能，在多种清洗功能模块中有着广泛应用，为了指示特定位置液位高度，储液罐侧壁通常安装有一组高低不同若干个液位传感器，传感器信号反馈给控制系统进行补液、停止补液等操作。

2、在半导体设备领域中，储液罐经常被安装在有限的空间中。这使得液位传感器的安装空间狭小。液位传感器的安装紧固需要双手同时配合进行，当液位传感器位置确定好后，保持液位传感器本体不转动的同时，再用扳手紧固外侧锁紧螺母进行固定。当操作侧空间狭小时，使得调整传感器位置或进行更换操作时需要耗费大量时间，而且很多时候一个人无法独立完成。

3、因此，如何降低液位传感器的安装难度是本领域技术人员急需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种半导体设备及其安装装置，其第一固定件可先与储液容器相连，再通过第一固定件对装置本体进行搭接固定，最后通过第二固定件对装置本体完成本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种安装装置，用于安装液位传感器于储液容器，其特征在于，包括装置主体，第一固定件以及第二固定件，其中，

2.根据权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述第一固定件包括插接槽，所述第一搭接部设置于所述插接槽的内壁，所述装置主体包括插接部，所述第二搭接部设置在所述插接部上，所述插接部能够穿入所述插接槽中，所述插接槽与所述插接部配合，以对所述装置主体进行水平限位，同时所述第二搭接部与所述第一搭接部搭接配合，以至少部分承载所述装置主体的重量。

3.根据权利要求2所述的安装装置，其特征在于，所述第一固定件的数量为两个以上，各个所述第一固定件沿平行所述插接部的方向分布，...

【技术特征摘要】

1.一种安装装置，用于安装液位传感器于储液容器，其特征在于，包括装置主体，第一固定件以及第二固定件，其中，

2.根据权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述第一固定件包括插接槽，所述第一搭接部设置于所述插接槽的内壁，所述装置主体包括插接部，所述第二搭接部设置在所述插接部上，所述插接部能够穿入所述插接槽中，所述插接槽与所述插接部配合，以对所述装置主体进行水平限位，同时所述第二搭接部与所述第一搭接部搭接配合，以至少部分承载所述装置主体的重量。

3.根据权利要求2所述的安装装置，其特征在于，所述第一固定件的数量为两个以上，各个所述第一固定件沿平行所述插接部的方向分布，各个所述第一固定件的所述插接槽均与所述插接部插接配合。

4.根据权利要求2所述的安装装置，其特征在于，所述第一搭接部包括搭接槽，所述搭接槽沿垂直所述插接部的方向延伸，所述第二搭接部为设置在所述插接部上的搭接凸台，所述搭接凸台能够穿入所述搭接槽中，与所述搭接槽搭接配合。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的安装装置，其特征在于，所述装置主体包括安装件和调节组件，其中，

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏鹏飞，刘东旭，赵宏宇，马宏帅，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：