下载一种硅桥嵌入的基板结构及其制造方法的技术资料

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本发明公开一种硅桥嵌入的基板结构及其制造方法,涉及半导体封装技术领域,以解决制造时硅桥发生翘曲的问题。基板结构包括:基板具有填埋树脂面和底面,填埋树脂面开设凹槽,两面均有多个第一凸点;硅桥下表面与凹槽连接,其上表面有地电极和多个第二凸点,多...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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