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一种半导体结构的制作方法及其结构技术
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文档序号:42127005
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本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构的制作方法及其结构,其中,半导体结构的制作方法包括:提供晶圆,所述晶圆包括边缘区;形成互联层,所述互联层位于所述晶圆的表面;进行刻蚀处理,所述刻蚀处理用于刻蚀部分所述边缘区的所述互联层;进行还原...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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