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本申请提供一种立库堆垛机轨道装置,应用于半导体搬运设备技术领域,其中轨道装置包括天轨和地轨,天轨吊装于立库中巷道上部,并与堆垛机的顶部活动连接,用于对堆垛机的水平运动进行空中导向;地轨与天轨平行设置并安装于立库中巷道底部,地轨包括导向轨道和...该专利属于弥费科技(上海)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过弥费科技(上海)股份有限公司授权不得商用。
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