温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种液体输送管路、方法及半导体刻蚀系统，液体输送管路包括：水动力模块、气泡检测管路、气泡检测装置、三通阀和第一控制器；水动力模块提供去离子水，通过气泡检测管路传输，由气泡检测装置监测气泡并发出电信号；三通阀根据信号改变水流方向，无...
该专利属于物元半导体技术（青岛）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过物元半导体技术（青岛）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。