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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:42118045
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本公开实施例涉及半导体技术领域,提供一种半导体结构及其制造方法,制造方法包括:提供基底,基底中具有多个相互间隔的有源区,以及位于相邻有源区之间的隔离结构;对基底进行第一图形化处理,以形成第一接触孔,第一接触孔至少露出部分有源区;在第一接触孔...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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