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一种半导体器件及其制造方法技术
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下载一种半导体器件及其制造方法的技术资料
文档序号:42105559
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本申请提供一种半导体器件及其制造方法,半导体器件包括:衬底,衬底包括N型区域和P型区域,分别设置在N型区域和P型区域的第一纳米片和第二纳米片。在第一纳米片和第二纳米片的表面设置第一缓冲层,在第一纳米片或第二纳米片中的其中一个设置环绕其的第一...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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