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本发明实施例提供了一种控温方法和装置，方法包括：在当前工艺步的控温过程中，获取当前工艺步的控温信息、下一工艺步的控温信息和半导体热处理设备的温度信息；根据当前工艺步和下一工艺步的控温信息，判断当前工艺步与下一工艺步所使用的控温方式是否相同；...
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